氫氟酸
電(diàn)子級氫氟酸是一種無色透明(míng)液體(tǐ),具有(yǒu)強烈的刺激性氣味,劇(jù)毒。它具有(yǒu)強腐蝕性,能侵蝕玻璃和(hé)矽酸鹽而生(shēng)成氣态的四氟化矽。這種化學物質在空(kōng)氣中發煙,易溶于水(shuǐ)、醇,難溶于其他有(yǒu)機溶劑。
電(diàn)子級氫氟酸是用于高(gāo)純度應用的氫氟酸,通(tōng)常用于半導體(tǐ)制(zhì)造。根據用途的不同,電(diàn)子級氫氟酸被分為(wèi)EL、UP、UPS、UPSS四個(gè)級别。其中,UPSS級别是最先進的級别,國內(nèi)僅有(yǒu)多(duō)氟多(duō)生(shēng)産和(hé)大(dà)規模應用。
此外,電(diàn)子級氫氟酸是半導體(tǐ)制(zhì)造中的重要化學物質,主要用于清洗和(hé)腐蝕。它可(kě)以與硝酸、冰醋酸、雙氧水(shuǐ)及氫氧化铵等配置使用。
分子式分子量CAS号包裝用途HF20.017664-39-3槽罐車(chē)/桶裝主要用作(zuò)含氟化合物的原料,也用于氟化鋁和(hé)冰晶石的制(zhì)造,半導體(tǐ)表面刻蝕及用作(zuò)烷基化的催化劑。
理(lǐ)化性質常溫下為(wèi)無色透明(míng)至淡黃色冒煙液體(tǐ),有(yǒu)刺激性氣味,比重0.98,比水(shuǐ)略輕,沸點19.4℃,極易揮發,置空(kōng)氣中,即發白煙。含氟化氫60%以下的水(shuǐ)溶液,為(wèi)無色澄清的發煙液體(tǐ)。工業産品通(tōng)常為(wèi)HF含量40~45%的水(shuǐ)溶液。有(yǒu)刺激性氣味 。
氫氟酸
電(diàn)子級氫氟酸的技(jì)術(shù)特點主要體(tǐ)現在純度、潔淨度和(hé)腐蝕性等方面。
純度:電(diàn)子級氫氟酸必須具有(yǒu)高(gāo)純度,以确保在半導體(tǐ)制(zhì)造過程中不會(huì)引入雜質,從而影(yǐng)響芯片的性能和(hé)可(kě)靠性。因此,在生(shēng)産和(hé)使用過程中,對氫氟酸的純度有(yǒu)很(hěn)高(gāo)的要求。
潔淨度:電(diàn)子級氫氟酸需要保持高(gāo)度的潔淨度,以避免在半導體(tǐ)制(zhì)造過程中引入雜質。這種潔淨度不僅包括化學純度,還(hái)包括減少(shǎo)顆粒物、微生(shēng)物等雜質。腐蝕性:電(diàn)子級氫氟酸具有(yǒu)強烈的腐蝕性,能侵蝕玻璃和(hé)矽酸鹽等材料。因此,在使用過程中需要采取特殊的防護措施,以防止對人(rén)員和(hé)環境造成傷害。
特殊性質:電(diàn)子級氫氟酸還(hái)具有(yǒu)一些(xiē)特殊的性質,例如在高(gāo)溫下容易揮發,具有(yǒu)刺激性和(hé)腐蝕性,因此在運輸、儲存和(hé)使用過程中需要遵循特定的安全規範。